マイクロ波スイッチング電源は、IGBT高周波インバータ技術に基づいた新しいタイプのマイクロ波電源です。アノード高電圧電源、フィラメント電源、磁場電源（3kWマイクロ波電源を除く）を統合しています。ウェーブマグネトロンは動作条件を提供します。この製品は、MPCVD、マイクロ波プラズマエッチング、マイクロ波プラズマ脱ガムなどの分野で使用されます。
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