マイクロ波電力

簡単な説明：

マイクロ波スイッチング電源は、IGBT高周波インバータ技術に基づいた新しいタイプのマイクロ波電源です。アノード高圧電源、フィラメント電源、磁場電源（3kWマイクロ波電源を除く）を統合しています。ウェーブマグネトロンは作業条件を提供します。この製品は、MPCVD、マイクロ波プラズマエッチング、マイクロ波プラズマ脱ガムなどの分野で使用されます。

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特徴

●高周波インバーター技術、高電力密度、小型、高信頼性
● 速い応答性、正確な制御、優れた安定性
●定電圧、定電力、定電流制御モードを備えています。
●すべての外部コネクタは設置やメンテナンスに便利なクイックプラグ端子と空中プラグを採用しています。
●内蔵または外付け可能なフィラメント電源の柔軟な構成
●急速点火の検出と保護
●豊富で高速な検知・保護機能
●RS485標準通信インターフェース
●標準シャーシを採用（3U：3kW、6kW、6U：10kW、15kW、25kW）、設置が簡単

製品の詳細

	1kWマイクロ波電源	3kWマイクロ波電源	5kWマイクロ波電源	10kWマイクロ波電源	15kWマイクロ波電源	30kWマイクロ波電源	75kWマイクロ波電源	100kWマイクロ波電源
陽極の定格電圧と電流	4.75kV370mA	5.5kV1000mA	7.2kV1300mA		10kV1600mA	12.5kV1800mA	13kV3000mA	18kV4500mA
フィラメントの定格電圧と電流	DC3.5V10A	DC6V25A(内蔵)	DC12V40A(外付け)		DC15V50A(外付け)	DC15V50A(外付け)	AC15V110A(外部)	AC15V120A
定格磁界電圧と電流	-	-	DC20V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V5A	DC100V10A
注: 製品は革新を続けており、パフォーマンスは向上し続けています。このパラメータの説明は参照のみを目的としています。