MSBシリーズ中周波スパッタリング電源
-
MSBシリーズ中周波スパッタリング電源
RHHシリーズRF電源は、成熟したRF生成技術を採用し、より高出力、高精度、高速応答のRF電源をお客様に提供します。位相設定、パルス制御、デジタルチューニングなどの機能を備えています。適用分野：太陽光発電産業、フラットパネルディスプレイ産業、半導体産業、化学産業、研究所、科学研究、製造業など。
適用可能なプロセス: プラズマ化学気相成長法 (PECVD)、プラズマエッチング、プラズマクリーニング、無線周波数イオン源、プラズマ拡散、プラズマ重合スパッタリング、反応性スパッタリングなど。