MSBシリーズ 中周波スパッタリング電源

RHH シリーズ RF 電源は、成熟した RF 生成技術に依存しており、より大電力、高精度、高速応答の RF 電源をお客様に提供します。位相設定、パルス制御、デジタルチューニングなどの機能が付いています。適用分野: 太陽光発電産業、フラットパネルディスプレイ産業、半導体産業、化学産業、実験室、科学研究、製造など。

適用プロセス：プラズマ化学蒸着（PECVD）、プラズマエッチング、プラズマクリーニング、高周波イオン源、プラズマ拡散、プラズマ重合スパッタリング、反応性スパッタリングなど。