MSDシリーズスパッタリング電源

MSDシリーズDCスパッタリング電源は、優れたアーク処理スキームと組み合わせた同社のコアDC制御システムを採用しているため、製品は非常に安定した性能、高い製品信頼性、小さなアーク損傷、優れたプロセス再現性を備えています。中国語と英語の表示インターフェイスを採用し、操作が簡単です。

製品の詳細

●ラックへの設置
● 高速アーク応答、応答時間 <100ns
● 底部エネルギー貯蔵、<1mJ/kW
●コンパクトな設置構造、3U標準シャーシ
●中国語/英語表示インターフェース、操作が簡単
●正確な制御
●幅広い出力範囲
●万全の保護機能

入力	入力電圧: 3AC380V±10%
入力	電力：20kW、30kW入力電源周波数：50Hz/60Hz
出力	最大。出力電圧: 800V
	最大。出力電流：50A、75A
	出力電流リップル: ≤3% rms
	出力電圧リップル: ≤2% rms
テクニカルインデックス	点火電圧: 1000V / 1200V オプション
	変換効率: 95%
	アークオフ時間：＜100ns
	通信インターフェース：標準RS485 / RS232（PROFIBUS、PROFINET、DeviceNet、EtherCATはオプション）
	寸法(高さ幅奥行き)mm: 132482560: 176482700
	冷却モード:空冷
注: 製品は革新を続けており、パフォーマンスは向上し続けています。このパラメータの説明は参照のみを目的としています。