RF電源
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RLSシリーズRF電源
RLSシリーズRF電源は、電流が安定し信頼性の高いパワーアンプと同社のコアDC制御システムを採用しているため、製品は非常に安定した性能と高い製品信頼性を備えています。中国語と英語の表示インターフェイスを採用し、操作が簡単です。主に太陽光発電産業、フラットパネルディスプレイ産業、半導体産業、化学産業、実験室、科学研究、製造などで使用されます。
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RMA シリーズ マッチャー
RLSシリーズRF電源に適合でき、プラズマエッチング、コーティング、プラズマクリーニング、プラズマ脱ガムなどのプロセスで広く使用されています。単体で使用する場合は、他メーカーのRF電源と併用可能です。
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RHHシリーズ RF電源
RHH シリーズ RF 電源は、成熟した RF 生成技術に依存しており、より大電力、高精度、高速応答の RF 電源をお客様に提供します。位相設定、パルス制御、デジタルチューニングなどの機能が付いています。適用分野: 太陽光発電産業、フラットパネルディスプレイ産業、半導体産業、化学産業、実験室、科学研究、製造など。
適用プロセス：プラズマ化学蒸着（PECVD）、プラズマエッチング、プラズマクリーニング、高周波イオン源、プラズマ拡散、プラズマ重合スパッタリング、反応性スパッタリングなど。