RHHシリーズRF電源

簡単な説明:

RHHシリーズRF電源は、成熟したRF生成技術を採用し、より高出力、高精度、高速応答のRF電源をお客様に提供します。位相設定、パルス制御、デジタルチューニングなどの機能を備えています。適用分野：太陽光発電産業、フラットパネルディスプレイ産業、半導体産業、化学産業、研究所、科学研究、製造業など。
適用可能なプロセス: プラズマ化学気相成長法 (PECVD)、プラズマエッチング、プラズマクリーニング、無線周波数イオン源、プラズマ拡散、プラズマ重合スパッタリング、反応性スパッタリングなど。

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特徴

● ハーフブリックとラックマウントスタイル
● フルデジタル制御を採用し、便利で豊富な操作メニューを備えています
● 周波数チューニング、パルスおよびパルス同期機能
●CEX位相同期機能搭載
●完璧な保護機能

製品詳細

入力	入力電圧：AC220V±10％ 3ΦAC380V±5％（特別仕様もカスタマイズ可能）
入力	入力周波数: 47~63Hz
出力	出力周波数：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	チューニング範囲: ±5%
	出力：1.5～5kW
	出力調整範囲：1～100%
	出力インピーダンス：50Ω+j0
	出力インターフェース：N型
	出力モード：連続、パルス
	パルス周波数：100Hz～100kHz
	デューティサイクル: 5~95%
パフォーマンス指標	力率: 0.98
	周波数安定度精度: ±0.005%
	効率: 75% (定格出力時)
	高調波: ＜-45dBc
	浮遊音: ＜-50dBc
	外部制御インターフェース：アナログ量、通信および同期
	通信モード: 標準 RS485 通信インターフェース、オプションの Ether CAT、産業用 Ethernet など。
注：本製品は継続的に革新を続けており、パフォーマンスも向上し続けています。このパラメータの説明は参考用です。