RMAシリーズマッチャー

RLSシリーズRF電源に適合し、プラズマエッチング、コーティング、プラズマクリーニング、プラズマ脱ガムなどのプロセスに広く使用されています。単独で使用する場合も、他社のRF電源と併用することも可能です。

製品詳細

● フルデジタル制御、高いマッチング精度、短いマッチング時間

● 真空コンデンサを採用し、高い信頼性と長寿命を実現

● コンパクトな構造、小型、設置が簡単

● 非常に広いマッチング範囲で、あらゆる負荷に合わせてカスタマイズ可能

●手動/自動マッチング機能付き

●ホールド・プリセット機能付き

●通信機能により、ホストコンピュータと独立して接続し、負荷状態をリアルタイムで表示できます。

● カスタマイズ可能な出力インターフェース

テクニカルインデックス	制御電圧：AC220V±10%
	送信電力：0.5～5kW
	周波数: 2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	マッチング時間：端から端まで＜5秒、プリセットポイントからマッチングポイントまで＜0.5～3秒
	定在波：＜1.2
	インピーダンス実部：5～200Ω
	インピーダンス虚数部: +200~-200j
	RF出力電圧: 4000Vピーク
	RF出力電流: 25~40Arms
	入力インターフェース：N型
	出力インターフェース：銅バーまたはL29
注：本製品は継続的に革新を続けており、パフォーマンスも向上し続けています。このパラメータの説明は参考用です。