RMA シリーズマッチャー

RLSシリーズRF電源に適合でき、プラズマエッチング、コーティング、プラズマクリーニング、プラズマ脱ガムなどのプロセスで広く使用されています。単体で使用する場合は、他メーカーのRF電源と併用可能です。

製品の詳細

●フルデジタル制御、高い照合精度、短い照合時間

●真空コンデンサを採用し、高信頼性、長寿命です。

●コンパクトな構造、小型、簡単な設置

●超広範なマッチング範囲、あらゆる負荷に合わせてカスタマイズ可能

●手動・自動マッチング機能付

●ホールド・プリセット機能付き

●通信機能を搭載しており、単独でホストコンピュータに接続し、負荷状況をリアルタイムに表示できます。

●カスタマイズ可能な出力インターフェース

テクニカルインデックス	制御電圧：AC220V±10%
	送信出力：0.5～5kW
	周波数：2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	マッチング時間: エンドツーエンド < 5 秒、プリセットポイントからマッチングポイント < 0.5 ~ 3 秒
	定在波：＜1.2
	インピーダンス実部：5～200Ω
	インピーダンス虚部：+200～-200j
	RF出力電圧: 4000Vpeak
	RF出力電流: 25~40Arms
	入力インターフェース：タイプN
	出力インターフェース: 銅バーまたは L29
注: 製品は革新を続けており、パフォーマンスは向上し続けています。このパラメータの説明は参照のみを目的としています。