RMA シリーズマッチャー

RLSシリーズRF電源に適合でき、プラズマエッチング、コーティング、プラズマクリーニング、プラズマ脱ガムなどのプロセスで広く使用されています。単体で使用する場合は、他メーカーのRF電源と併用可能です。

製品の詳細

● ハーフブリックおよびラックマウントスタイル
●フルデジタル制御を採用し、便利で豊富な操作メニューを搭載しています。
●周波数チューニング、パルス、パルス同期機能
●CEX位相同期機能付き
●万全の保護機能

テクニカルインデックス	制御電圧：AC220V±10%
	送信出力：0.5～5kW
	周波数：2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	マッチング時間: エンドツーエンド < 5 秒、プリセットポイントからマッチングポイント < 0.5 ~ 3 秒
	定在波：＜1.2
	インピーダンス実部：5～200Ω
	インピーダンス虚部：+200～-200j
	RF出力電圧: 4000Vpeak
	RF出力電流: 25~40Arms
	入力インターフェース：タイプN
	出力インターフェース: 銅バーまたは L29
注: 製品は革新を続けており、パフォーマンスは向上し続けています。このパラメータの説明は参照のみを目的としています。