MSDシリーズスパッタリング電源

MSDシリーズDCスパッタリング電源は、当社のコアDC制御システムと優れたアーク処理方式を組み合わせることで、非常に安定した性能、高い製品信頼性、アークダメージの低減、優れたプロセス再現性を実現しています。中国語と英語のディスプレイインターフェースを採用し、操作も簡単です。

製品詳細

● ラック設置

● 高速アーク応答、応答時間<100ns

● 底部エネルギー貯蔵量、<1mJ/kW

● コンパクトな設置構造、3U標準筐体

● 中国語/英語の表示インターフェース、操作が簡単

● 精密な制御

● 幅広い出力範囲

●完璧な保護機能

入力	入力電圧: 3AC380V±10%
入力	出力：20kW、30kW 入力電源周波数：50Hz/60Hz
出力	最大出力電圧：800V
	最大出力電流：50A、75A
	出力電流リップル: ≤3% rms
	出力電圧リップル: ≤2% rms
テクニカルインデックス	点火電圧：1000V / 1200V（オプション）
	変換効率：95％
	アークオフ時間: ＜100ns
	通信インターフェース：標準RS485 / RS232（PROFIBUS、PROFINET、DeviceNet、EtherCATはオプション）
	寸法(高さ幅奥行き)mm: 132482560: 176482700
	冷却モード：空冷
注：本製品は継続的に革新を続けており、パフォーマンスも向上し続けています。このパラメータの説明は参考用です。