TPM3 シリーズ パワー コントローラーはモジュール設計のアイデアを採用しており、製品はインターフェイス モジュールとパワー モジュールで構成されます。1 つのインターフェース モジュールに最大 16 個の電源モジュールを接続でき、各電源モジュールには 6 つの加熱回路が組み込まれています。TPM3シリーズ1台で最大96個の単相負荷の加熱制御を実現します。この製品は主に、半導体エピタキシー炉、自動車のスプレーおよび乾燥などの多温度ゾーン制御の場面で使用されます。