TPM3シリーズ電源コントローラ

TPM3シリーズ電力コントローラはモジュール設計を採用しており、インターフェースモジュールとパワーモジュールで構成されています。1つのインターフェースモジュールに最大16個のパワーモジュールを接続でき、各パワーモジュールには6つの加熱回路が内蔵されています。TPM3シリーズ製品1台で、最大96個の単相負荷の加熱制御が可能です。主に半導体エピタキシャル炉、自動車の塗装・乾燥工程など、多温度ゾーン制御が必要な用途に使用されます。