MSBシリーズ 中周波スパッタリング電源

MSBシリーズは、優れた波形変調技術により、DC、DCパルス、双方向方形波、双方向台形波などの波形を出力します。この製品には、調整可能な出力波形、選択可能な出力周波数、調整可能なデューティ サイクル、および正確な電力制御が備わっています。低エネルギー蓄積と高速アーク応答に加えて。コーティングプロセスを便利かつ正確に制御します。製品は主にさまざまな薄膜製造プロセス、太陽電池産業、真空コーティング産業で使用されます。適用プロセス: マグネトロン スパッタリング プロセス、ツイン ターゲット スパッタリング、およびチューブラー PECVD。